随着制造业的发展对加工精度提出了越来越的要求高，传统机床的加工精度已经远远不能满足飞速发展的消费及军工领域的要求，如电子硅芯片、大规模集成电路，以及对表面粗糙度、精度要求很高的模具等等。于是，人们把眼光投入到精度更高的加工技术上，从最初的毫米级， 到微米级(千分之一毫米)，到纳米级(千分之一微米)，“微纳技术”这一概念就应运而生了。 微纳技术在二十多年的发展过程中。从刚开始的单纯理论性质的基础 研究衍生出了许多细分。如微纳级精度和表面形貌的测量，微纳级表层物理、化学、机械性能的检测，微纳级精度的加工和微纳级表层的 加工原子和分子的去除、搬迁和重组，以及纳米材料纳米级微传感器 和控制技术：微型和超微型机械；微型和超微型机电系统和其他综合系统；纳米生物学等。 另一方面，微纳技术的应用领域也得到了很大拓展。到目前为止。微纳技术已经被广泛应用于国防军工和民用产品。最主要的应用如纳米 级机械加工、电子束和离子束加、LIGA技术、扫描隧道显微加工技术等。